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HWBT粘片机
  • 全自动工艺循环,减少操作输入。
  • 极好的晶片与支撑板之间的平行度。
  • 粘结参数的接触式按钮。
  • 无气泡粘结。
  • 单片或多片。

详细参数

/ DETAILED PARAMETERS

【设备参数】



参数1


【技术应用】

适用材料  主要用于在处理薄的和易碎的半导体晶片,如氮化镓、氧化镓、金刚石、多晶碳化硅的粘结。

应用领域   可应用于半导体材料、红外材料、光电材料等应用领域的粘片工艺。


【设备说明】

● 可通过触摸屏交互界面设置所需的粘接温度和真空要求等工艺参数,存储多达100条工艺菜单;

● 自动化程度高,整机操作便捷,运行稳定,维护方便,可靠性强;

● 显示界面实时监测温度、压力及真空度变化,可以数值和电子计量表形式显示;

● 设置既定程序自动控制完成粘片,并在屏幕上显示结果;

● 减少昂贵材料在制备过程中的破损,提高粘结工艺的稳定性;


【系列型号】






【产品包装】


包装


● 木箱整体尺寸1000*568*987mm;

● 木箱根据出口国家进行相应熏蒸,并办理熏蒸手续;

● 木箱侧面标有:“重物”、“向上”、“易碎品”等标识。

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