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MS精密磨抛机
  • 整机高度防腐。
  • 可实现超高精度端面及角度研磨抛光工艺。
  • 磨抛夹具面型自适应功能。
  • 磨抛盘在线自动平整度控制功能,精度1μm
  • 最多可同时磨抛4*4inch或2*6inch及以下样片。
  • 多种选配功能:蓝牙无线传输数据、自动温控 自动清洗,一机多控等。

详细参数

/ DETAILED PARAMETERS

   【规格型号

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   适用材料

     CZT、MCT、SiC、GaN、LiNbO3LiTaO3、GaSb、InSb


   应用领域

     半导体衬底、器件、封装、MEMS

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